フレキシビリティ确保技术
どこでも微振动性能确保
敷地の有効活用の観点から、生产ラインを上下に积み重ねるケースも増加
小欧视频の微振動性能确保技術によって上層階での性能低下を回避
- 上层阶でも露光机设置が可能
- 生产レイアウトの自由度が格段に向上
- 大スパンでも微振動性能确保
■ 概要
一般的に微振动性能を要求される生产设备は最下层にレイアウトしますが、小欧视频の设计なら上阶クリーンルームでも微振动性能を确保できるため、生产レイアウトのフレキシビリティーが格段に向上します。
すべての▼地点で微振动性能を确保
上层阶に设置された露光机基础
（白い床の部分）
微振动スペックの例
関连情报：