歩留り向上技术
微振动制御技术
クリーンルームに伝わる振动は製品の歩留まりに大きく影响
小欧视频は豊富なデータと多くの経験、次世代を见据えた研究开発で微振动を制御し影响を排除
- 独自手法により振动源の影响を的确に解析?把握
- 様々な技术メニューによる振动低减
- 更なる振动予测精度の向上と新技术の开発推进
■ 微振动予测防止システム（痴-贵颈苍别システム）
微振动対策のアイテムは数多くありますが、建物を単纯に硬く重くするだけでは良い建物にはなりません。建物の要求品质には大スパン?短工期?ローコスト等の微振动と相反する条件があります。よって、より正确な振动特性を捉え、必要な微振动対策を施した上で総合的にベストの建筑计画を构筑する事が重要です。
小欧视频の痴-贵颈苍别システムは建设前に振动源や振动の建物への伝わり方の调査?解析を行うソフト技术です。豊富なデータと経験を活かした迅速?的确な微振动対策の提案が可能です。
■ 微振动対策床の研究开発
电子デバイス生产用の露光装置や计测装置等が大型化?高速化する一方で、电子デバイスメーカーは、竞争力强化のために、生产プロセスの微细化、製品の高精细化を进め、クリーンルーム床に求められる振动性能はますます厳しいものとなっています。
小欧视频では、お客様の多様なニーズにお応えできるよう、様々なタイプの高刚性床、免震床、制振床を考案し、実用に向けて実験による性能の検証を行っています。
また、実験データとシミュレーション结果との対比などから、振动予测手法の精度向上に取り组んでいます。
技术研究所における高刚性床の加振実験状况
■ 微振动対策のアプローチ
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■ 微振动予测解析手法
外部からの环境振动の建物内への影响を、より精度よく予测评価する手法であり、建物のどの位置でも実现象に近い伝播振动特性を再现することが可能です。
外部からの环境振动とは、周辺道路での车両走行、また建设作业によって発生する振动等があり、电子デバイス工场の嫌振机器に影响を与える场合があります。
従来は、地盘?基础モデルの応答と建物モデルの応答を别々に解析していましたが、この评価法では、振动源から地盘?基础?建物までを一体化したモデルによって予测评価できます。
従来の手法 |
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微振动予测解析手法 |
メリット
- 精度の高い予测を低コストで迅速に行なうことが可能。
- 効果的な事前対策による短工期を実现。
- 早期の生产ライン稼动へ贡献。
■ 振动监视システム
工事期間中は、常時振動を自動計測し、設定値を超えるとブザー音と回転灯で警報を知らせる振动监视システムを活用し、既存工場へ振動を与えないようにします。
システム図
振动监视システムの機器