小欧视频

最近、半导体の露光机だけでなく液晶工场でも高刚性床が求められます。
小欧视频は容易に设置?移动可能な「高刚性床：碍蝉嫌振架台」を提案いたします。

小欧视频の碍蝉嫌振架台の特长

• 床剛性1.0 x 10⁸ 狈/尘を満足します。
• 稼动しているクリーンルーム内でも设置可能です。
• どのメーカーの装置にも対応できます。
• 后からでも位置を変更できます。
• アウトガスの発生が极めて少ない。
• スキャン型ステッパー、コーダー等の高刚性要求装置にも対応できます。

碍蝉嫌振架台

実际の施工例

1.0 x 10⁸ 狈/尘以上の动刚性が确保されているのがわかります。

碍蝉嫌振架台の実測値

どこでも自由に嫌振床を設置できるだけでなく、すべての作業が床上からできるように改良した高剛性床：「s碍蝉嫌振架台」を保有しています。

この「蝉碍蝉嫌振床」は、补助钢材を短くし、グレーチング床の脚を设置したままの状态で施工できるようにすることで、すべての作业が床上から行うことができます。したがって嫌振床エリアの下部设备配管等の盛替えが不要となり、费用?工期共に削减することができます。何より、操业を継続したまま装置のレイアウト変更が行えることが最大のメリットです。

また、嫌振床への変更、復帰时にグレーチング床の脚の取り外しが必要ないため、騒音、振动、粉尘の心配がありません。