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当社技术研究所内に超高清浄クリーンルーム実験室を构筑しました。アウトガスは、无机イオン?有机物ともに极めて0（ゼロ）に近い空気质を実现。様々なアウトガス评価?実験を行う上で、バックグラウンドゼロの空间として活用しています。

アウトガスが极めて少ない材料を用い、クリーンルームの缩小モデルを作成しました。本施设内に、床?天井?壁などの建材や、フィルタ、ケーブルなどの设备材料を设置することで、计画段阶から実际のクリーンルームに近い环境で、アウトガスの评価?予测を行うことが可能になりました。また、材料を任意に交换することで、室内浓度への影响を评価しながら、各种材料の比较を行うことができます。既に本施设を利用した评価実験を行い、実际の建设计画に展开しています。

挥発性有机化合物（ＶＯＣ）测定は、従来法では现场でサンプリングし、それをラボに持ち帰ってから分析を行うという手间のかかるもので、その后の対応策の効果判定にも时间を要するなどの问题点がありました。また、现场で测定可能なＶＯＣ迅速评価手法は、装置の感度が悪く室内环境レベルの浓度を测定することは困难でした。これらの问题を解决するため、改良型ガスクロマトグラフを用いた迅速かつ无人で连続测定および结果判定が可能な、新しいＶＯＣ评価手法を开発しました。本手法の特徴は下记の通りです。

• 可搬化を実现
• 数μ驳/尘3～数十μ驳/尘3の高感度の测定
• 繰り返し自动サンプリング－分析
• 経时的な浓度変动の把握
• 现地での浓度提示が可能

従来、アンモニアの测定はサンプリングに12～24时间、分析に数日を要し、専门性の高い化学知识が必要でした。本キットは低コスト、短时间、専门知识不要で精密法と同等の结果を得ることが可能です。

総有机物、中でも半导体等のクリーンルームで製造障害を引き起こすシロキサン类を大幅に低减したシーリング材を开発しました（2004年）。しかも、表面の粘着性が少なく、接着性?施工性も良く、低価格、环境配虑型容器の採用などの特长を持っています。

建设工事の际に発生する分子汚染物质（有机ガス、狈翱虫?厂翱虫等の无机物质）がクリーンルーム内に入り込むことを防止するために、既设の外调机（外気を処理する空调机）に、简易に低コストで取り付けられるフィルターを开発しました（2006年）。特长は以下の通りです。

• 既设の外调机に设置するだけで
  外気からの分子汚染物质の除去が可能
• ほとんどのクリーンルームに、
  しかも稼动中に设置可能
• 従来の常设ケミカルフィルタに比べ、
  半额程度にコスト低减が可能
• 建设工事上の制约がなくなるため、
  短工期化が可能
• 中性能フィルタとしての性能も保有

クリーンルームの居ながらリニューアル工事の場合、 「溶接」?「斫り」?「アンカー打ち」などが発生する場合があります。
基本的には稼动中のクリーンルーム内ではそれらの作业は不可能ですが、诸事情からやむを得ない场合は仮囲いを作り、その中で作业を行う方法が採られます。

仮囲いの中で発生するパーティクルや分子汚染物质が稼働中のクリーンルームに及ぼす影响について测定することは通常では出来ませんが、当社のクリーンルームを使い検証を行いました。
万が一の场合も、これらの测定値を基に稼働中のクリーンルームへの影响を最小限に留めます。