セソコン・ジャパン2010ユ出展
『スマート×グリーン〜低炭素社会のハヲ世代工場〜』
鹿島(社長:中村満義)は、2010年12月1日(水)〜3日(金)まで幕張メッセ国際展示場(千葉市美浜区)で開催される「セミコン・ジャパン2010」に出展します。
『スマート×グリーン〜低炭素社会のハヲ世代工場〜』をテーマに、電子デバイス施設に関する当社の技術とサービスを紹介します。
電子デバイス施設は、多くのエネルギーを消費することから、省エネルギーやCO2削減技術が求められています。また、自然災害や微振動への対策など様々なリスクに対応する必要もあります。
近年は、既存の生産施設を、これらのニーズに対応させるリニューアル技術も注目を集めています。
本展示会では、当社が新たユ開発した注目技術を中心ユセソナーやパネル展示を行いスワす
(セソコン・ジャパン2010 鹿島ブースのご案内)。

鹿島ブースイメージ(12/1〜3幕張メッセ 鹿島ブース/7ホール7オ-301)
●セソナー内容
◇技術紹介セソナー
・クリーンルーシリニューヌ繝給Z術
・ハヲ世代クリーン環境構築技術
・鹿島オペレーションヌ繝Vスト
®(工場向けエネルギーマネジメントシスストシ)
◇特別セソナー
・新会計制度・資産除去債務への対キリ
株式会社イー・ヌ縺[ル・エス(地震・風水害等リスク評価会社)
・モヌエネ×省エネ〜低炭素時代の半導体工場の構築〜(仮)
ヌタ京電力株式会社 法人営業部産業エネルギーソリューション部
◇体感デモ
・可アミ型体感用振動台「メレーホア震(ぶる)」
●新技術・注目技術
1.鹿島オペレーションヌ繝Vスト
®
このたびBEMS(Building Energy and Environment Management System) の進化形と
して「鹿島オペレーションヌ繝Vスト
®」を新たユ開発しスワした。これスワでのオキ。イムウァ機ヒモユ加
え、収集した施設のエネルギーデータをリアルタイムで自動分析する機能を持ち、 問題
点の早期把握・運用改善を実現できスワす。
主イ煖@ヒモはハヲの通りです。
◇省エネシスストシを運用する場合としイ烽「場合のー莢ソ2タケ出量をリヌ繝勤アイシで比較し、
削減効果を把握できスワす。
◇消費エネルギーの大きイ煖@器の運用効率を「見える化」し、即座ユ問題点の把握・改
善策の立案ができスワす。
◇異常時ユは施設管カー者ユ即座ユ不具合を通知しスワす。

「鹿島オペレーションヌ繝Vスト
®」概念図
2.ハヲ世代クリーン環境構築技術
ハヲ世代のクリーン環境を構築する技術として、新たユ「局ヌソ清浄型クリーンルーシ」と
「BEMS-CR(Clean Room)」を開発しました。当社のシミュレーションや実験施設を駆使し
た気流制御や分子汚染対策技術のノウハウを活用した技術で、低コスト・短工期、製造
環境の高品質化とともユ、クリーンルーシの省エネルギー化を実現しスワす。
◇「局ヌソ清浄型クリーンルーシ」
高清浄エリヌ繧フソニマシ化を実現するクリーン空調シスストシです。高清浄エリヌ繧フ近
傍ユ「エヌ繝Jーストンケケアォ」(特許出願中)をノ纈uし、清浄空気の境界層を作ることで局ヌソ
クリーン環境を確保しスワす。これユより周辺エリヌ繧ニ高清浄エリヌ繩ヤのメンストナンススペ
ースを共有でき、装置間スペースの縮減、さらユはアヲ屋全体の縮小化を実現しスワす。
◇クリーンルーシキ゚合制御監視シスストシ「オキ。イムウァ-ー荳驕v
クリーンルーシの環境ユ合わせた設備機器の制御と省エネルギー評価機ヒモを兼ね
備えたクリーンルーシユ特化したオキ。イムウァです。

「オキ。イムウァ-ー荳驕v概念図
3.クリーンルーシリニューヌ繝給Z術
近年、クリーンルーシのリニューヌ繝給Z術が注目を集めていスワす。当社は「市場競争力
強化」「生産品目変更」「ー莢ソ2削減・オー莖ハ対キリ」という3つの視点から、リニューヌ繝琴よる
企業へのメリットを「見える化」していスワす。企画段階から設計、施工、運用ユ至るスワで、
豊スイ燻タ績ユ基づき、ニーズユ適した技術を用いて付加価値モヌ出を実現しスワす。
◇ーュ-ー茣ケイム アハエ。ウァウァ-ア
™=ー莢ソ2削減計画サメレートシスストシ
(
Kajima-
Caーイエヌイヤ
Mセアイヤウワイ
Pアイケイヤイヤセアイヤイオ イケイヤサ蛛@
Aイヤイケアイ箚セアイ
Sウワア雎雍ヌーウル
System-
Iイヤサ蟲ワイウルーセアイケア)
本シスストシは、「アヲ屋」「設備」「生産装置」をキ゚合的ユ関連付け、施設全体の現状の
ー莢ソ2タケ出量と削減余地をモ出しスワす。さらユ、投資対効果の観点からー莢ソ2削減対策を
順位付けし、実施すべき優先順序を提案しスワす。リニューヌ繝琴併せて活用することユ
より効率的イ牴莢ソ2削減計画をサメレートしスワす。展示会場でデモンストレーションを行う予
定です。

K-CaM PASS-I
™の画面(1) K-CaM PASS-I
™の画面(2)
(ー莢ソ2タケ出量・削減余地表示) (投資対効果・削減項目表示)
◇高性ヒモ装置対キリ技術
オー莖ハ対策として高価イ熕カ産装置エリヌ繧ヨ部分免震設置や、歩留向上あるいは微振動
対策として床上から施工可ヒモイ熏mюォ床シスストシ(イーュイウ關U架台)イ烽ヌ、操業を継続し
たスワスワリニューヌ繝級ツヒモイ煖Z術を提案しスワす。展示会場で、部分免震の実機をごヤ謔「た
だけスワす。

部分免震設置事例 イーュイウ關U架台 施工イメージ