ミ。ナキハモニオ

[2009/11/05]

電子デバイス工場の操業を継続しイ烽ェら
装置レイヌ繝Eト変更ユ対キリ可ヒモイ熏\造シスストシを開発

「ローコストイ焜tレキシブル架構シスストシ」と「床上から対キリ可ヒモイ犂ーュイウ關U床」

 鹿島(社長カェ中村満義)は電子デバイス工場ユおいて、操業を継続しイ烽ェら装置のレイヌ繝Eト変更ユ容易ユ対キリできる以ムケの技術を開発しスワした。
 一つは、初期投資を最小限ユ抑え、将来のウ關U・高剛性対キリエリヌ繧ヨのレイヌ繝Eト変更が容易イ焉uローコストイ焜tレキシブル架構シスストシ」。もう一つは、装置のレイヌ繝Eト変更の際、ウ關U床の設置・移動・復帰を、操業を中断することイ烽ュ、床上からのみの施工で行える「イーュイウ關U床」です。

開発の背景

 半導体や液晶パネルイ烽ヌ最先端電子デバイス工場ユおいては、生産設備や生産技術がオ」々進化し、高度化しているため、工場のアヲ設ユあたっては、スピーディイ煦モ思決定が求められ、おのずと超短工期が求められていスワす。既存の工場ユおいても、生産品目の変更や生産量の増減を頻繁ユ行う必要があり、工場のレイヌ繝Eト変更のニーズや、仕フの高度化ユスピーディかつ的確ユキリえられることが求められていスワす。特ユ、生産ラインユおいては、レイヌ繝Eト変更や装置増設ユ対して、操業を継続しイ烽ェらレイヌ繝Eト変更を行いたいというニーズが不可欠イ燉v素ユイ烽チていスワす。

ローコストイ焜tレキシブル架構シスストシの開発

 そこで鹿島では、アヲ物アヲ設時は通常の仕フを満足する経済的イ煢ヒ構とし、将来、必要イ熾舶ェ箇ヌソユおいてウ關U・剛性条ノの性ヒモヌ繝bプが容易ユ行えるフレキシブルイ煢ヒ構シスストシを開発しスワした。このシスストシは顧客のニーズユ対して、もっともローコストイ熏\造架構形式を提案し、後ユ必要イ焜Gリヌ繧セけを高剛性エリヌ耻変更することができるため、初期投資を大幅ユ抑えることが出来スワす。
 クリーンルーシは、「クリーンルーシ階」と循環空気の通り道である「リホアーンプレナシ階」で構成されていスワす。リホアーンプレナシ階ユは設備ノ繩ヌや補機と呼ばれる装置が多数設置されスワす。将来、レイヌ繝Eト変更で、ウ關U・剛性条ノをヌ繝bプしたい箇ヌソユクリーンルーシ階からリホアーンプレナシ階へ「補強材」を追加するだけで、高剛性床ユ変更することが出来スワす。この補強材の追加は床ムケ設備ノ繩ヌの上部で行うため、ノ繩ヌユ影響イ烽ュ、操業を継続したスワスワ施工できスワす。

生産装置移動前

生産装置移動後(補強材(赤色)追加)

 これらをスワとめた架構選定メニューもあわせて開発しスワした。具体的ユは、顧客から微振動条ノや剛性条ノイ烽ヌ5つの条ノを確認するだけで、もっとも経済的イ熏\造架構を提案するものです。構造架構を検討する際ユ5つの条ノだけを確認することで、最もローコストイ燗S骨部材が選定できスワす。

床上から対キリ可ヒモイ犁關U床技術の開発

 微振動をウ閧、生産装置の床ユはウ關U床が必要とイ烽髀鼾がありスワすが、ツョ来のウ關U床はタフ立架台のため、生産装置のレイヌ繝Eト変更の度ユ操業を中断するか、あるいはメンストナンス等で装置が稼動していイ烽「特定の時期ユウ關U床の設置、移動を行っていスワした。
 鹿島では既ユ、設置や移動が簡単ユできる「ーュイウ關U床」(特許取得済)を開発し、多くの実績がありスワすが、今回新たユ、どこでも自由ユウ關U床を設置できるだけでイ烽ュ、すべての作業が床上からできるようユ改良した「イーュイウ關U床」を開発しスワした。(特許申請中)
 ツョ来のウ關U床は、補強のため、床ムケの設備ノ繩ヌの盛りセ蛯ヲが必要とイ烽閨Aヌ゙果、操業を中断したり、工期や費用が増加する場合がありスワした。今回開発した「イーュイウ關U床」は、補助鋼材を短くし、グレーチング床の脚を設置したスワスワの状態で施工できるよう改良することで、すべての作業が床上から行うことができるようユイ烽霓ワした。ウ關U床エリヌ繧フムケ部設備ノ繩ヌ等の盛セ蛯ヲが不要とイ烽閨A費用・工期共ユ削減することが出来スワす。何より、操業を継続したスワスワ装置のレイヌ繝Eト変更が行えることが最大のメリットです。
 スワた、ウ關U床への変更、復帰時ユグレーチング床の脚の取り外しが必要イ烽「ため、メ芍ケ、振動、粉塵の心ノ繧ェありスワせん。

グレーチング床パネルをム去した状態
グレーチング床パネルをム去した状態
ウ關U床を床上から設置している状況
ウ關U床を床上から設置している状況

今後の展望

 電子デバイス施設のリスクとしては、「操業継続リスク」が最もフ要視されており、オ」常のレイヌ繝Eト変更を操業を止めずユスピーディユ行えることは顧客の最大の要望事項とイ烽チていスワす。
 電子デバイス分野は最先端の技術革新分野の一つです。鹿島では、既存工場の有効利用のニーズを含め、可変性の大きいハヲ世代の電子デバイス工場を積スソ的ユ提案していく方針です。

プレスリリースユ記載された内容(価格、仕フ、サーシロス内容等)は、発表オ」現在のものです。
その後予告イ烽オユ変更されることがありスワすので、あらかじめご了承ください。