ミ。ナキハモニオ

[2007/12/14]

フ要イ熕カ産装置を地震から守る

−部分免震シスストシをクリーンルーシ内ユ初適用−

  • フ要イ熕カ産装置のみを免震化
  • 既存工場も短工期・低コストで改修可ヒモ

 鹿島(社長:中村満義)は、アヲ物内の必要イ熾舶ェだけを免震化する工法「部分免震シスストシ」を電子デバイス工場のクリーンルーシ内ユ初めて適用しスワした。化学物質(ヌ繝Eトガス)等の厳しい制約のあるクリーンルーシ内でも問題イ烽ュ設置でき、フ要イ熕カ産装置の耐震安全性向上ユ貢ラィできスワした。

 近年、地震イ烽ヌの災害発生時ユ事業損失をいかユ最小限ユとどめ事業を継続していくか、いわアクる「BマタP」への対キリが多くの企業の経営ハル題とイ烽チていスワす。とりわけ復ツ靱時間を要する装置や、高価イ熕カ産装置が多数設置されている電子デバイス施設では、大地震発生時の操業停止ユよる事業損失が企業ユとって大きイ熨ケ害とイ烽驍アとから、アヲ物や設備を地震から守る技術が求められていスワす。
 鹿島の部分免震シスストシは生産施設の必要イ熾舶ェだけを免震化することができるため、アヲ物全体の免震シスストシと比べて低コスト・短工期で導入でき、スワた、既存工場ユも適用可ヒモであることから、顧客の事業戦略ユ合わせた柔軟イ燗K用が可ヒモとイ烽霓ワす。

 このたび鹿島は部分免震シスストシを電子デバイス工場のクリーンルーシ内ユ初めて適用しスワした。同シスストシはボールメヌヌ繝潟塔Oホアイプの支承とオイルダンパーを組み合せた免震シスストシです。今回、生産装置を固定する9m×2.35mの架台ムケユ8台の支承材と4本のオイルダンパーをノ纈uし、地震時の揺れを1/5〜1/10程度低減できるよう設計しスワした。クリーンルーシ内では、製品の歩留スワり低ムケユ影響を及ぼすヌ繝Eトガスを発生させイ烽「事がハル題でしたが、ヌ繝Eトガスの成分や発生量の事前検ウケ、稼働試験を実施したヌ゙果、クリーンルーシ内でも問題イ烽ュ設置可ヒモイ烽アとが確認されスワした。
 イ烽ィ、同シスストシはクリーンルーシ以外の床免震シスストシとして既ユ54ノの実績があり、戸アヲ免震シスストシ(メヘ品名:シンドー莖ォーユ)としても2006年度スワでユ346戸の適用実績がありスワす。シンドー莖ォーユは2005年のオ」経新聞の『オ」経優秀作品・サーシロス賞』の優秀賞を受賞していスワす。

本シスストシの特徴は以ムケのとおりです。

●短工期・低コストで、既存工場の免震リニューヌ繝琴最適
 工場のアヲ物全体ではイ烽ュ、フ要イ熕カ産装置だけを部分的ユ免震化するため、低コストかつ短工期で設置可ヒモです。今回の場合、免震装置据付から上部架台構築スワで約2週間で施工しスワした。鹿島の部分免震シスストシは、免震床の周辺部ユ揺れを吸マ痰キるための
25テヌmのクリヌ繝宴塔Xと、床面からのモ、体鉄骨のわずか25〜30テヌmの空間があれば既存アヲ物ユも設置可ヒモです。

クリーンルーム内の部分免震システム詳細 部分免震架台

(写真左)クリーンルーシ内の部分免震シスストシ詳細
(写真右)部分免震架台

●ボールメヌヌ繝潟塔Oホアイプの免震床で地震力を1/5〜1/10ユ低減
 ボールメヌヌ繝潟塔Oは1個のボールで360°全方向ユ免震効果を発揮しスワす。地震時ユ大径ボールが受皿の上をサモがり地震力を低減させスワす。受皿ユはすり鉢状の傾斜がついており、地震後は自動的ユ元の位置ユ戻るため、地震後のメンストナンスも容易です。

ボールメヌヌ繝潟塔Oホアイプの免震装置 ボールメヌヌ繝潟塔Oホアイプの免震装置

加速度比較 ボールメヌヌ繝潟塔O免震床の地震キリ答解析

今後の展望

 本免震シスストシは新築工場だけでイ烽ュ、既存工場ユ対しても非常ユ有効イ煖Z術であることから、半導体生産装置やケアハカル(フラット・Τ閭lル・ディスプレイ)生産装置の中でも特ユ高価イ熨葡u、復ツ靱時間を要する装置を地震から守る免震化技術として積スソ的ユ提案していく方針です。スワた、免震効果の確認や地震観モヲシスストシと組み合わせた地震動デーホア観モヲ・分析も含めてシスストシ提供をしていきスワす。

プレスリリースユ記載された内容(価格、仕フ、サーシロス内容等)は、発表オ」現在のものです。
その後予告イ烽オユ変更されることがありスワすので、あらかじめご了承ください。